超高純度窒素プラント

超高純度窒素プラントは、空気圧縮、吸着精製、極低温蒸留を組み合わせたものです。 1ppbまでの窒素中のO2の不純物。

窒素生成システムは、安全で信頼性が高く、操作と保守の両方が簡単です。 お客様のニーズに応じて、いくつかのオプションをご利用いただけます。 たとえば、可用性と信頼性を高めるためのバックアップ気化器とストレージを含めることも、バックアップ液体ストレージを補充するための液体共同制作を含めることもできます。 同様に、窒素生成システムは、顧客の要件に応じて、設備投資（CAPEX）と運用支出（OPEX）の両方を最適化できます。 これらのプラントは完全にパッケージ化されているため、設置時間を短縮できます。

Aアプリケーションフィールド

半導体

利点

液体共同制作の可能性

バックアップ気化器とストレージを含めることができます

安全で信頼性が高く、操作と保守が簡単

CAPEXまたはOPEXを最適化します

重要なデータ

生産：1ppbまでのO2純度

容量：最大70,000Nm³/ h

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