水素化アルゴン回収装置

アルゴン回収装置は、アルゴン含有量の高い工業用テールガスからアルゴンを抽出し、純度99.999％のアルゴンを生成し、バックアップシステムに投入するか、顧客によってリサイクルされます。

アルゴン回収装置は、製造コストが低く、アルゴン回収率が高く、生産量が多く、リサイクル性が高いという特徴があります。

Aアプリケーションフィールド

太陽電池（単結晶シリコン/多結晶シリコンウェーハ製造用の保護ガス）

ステンレス製錬（製錬用保護ガス）

利点

低い製造コスト

大量の抽出

高い抽出率

産業排気ガスのリサイクル

重要なデータ

生産：1ppmまでのアルゴン中の酸素、1ppmまでのアルゴン中の窒素

典型的なモデル

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